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重大突破!中國(guó)這家上市材企KrF光刻膠已被主流芯片公司采購(gòu)

2022/5/30 17:47:06??????點(diǎn)擊:

粘接資訊消息,5月20日上海新陽(yáng)(300236)舉辦2021年度網(wǎng)上業(yè)績(jī)說(shuō)明會(huì),公布了多項(xiàng)關(guān)于其光刻膠業(yè)務(wù)進(jìn)展的信息。

在業(yè)績(jī)說(shuō)明會(huì)上,其表示,公司2021年完成了幾款KrF光刻膠產(chǎn)品的研發(fā)、驗(yàn)證并實(shí)現(xiàn)銷(xiāo)售,在手訂單中含有國(guó)內(nèi)主流頭部芯片制造公司等大小客戶(hù),覆蓋鋁線(xiàn)制程和銅線(xiàn)制程,用于邏輯、模擬等芯片的生產(chǎn)制造。由于客戶(hù)對(duì)于光刻膠的使用都會(huì)比較謹(jǐn)慎,目前還都是小批量使用,所以今年的銷(xiāo)售額可能不會(huì)很大,但明年用量可能會(huì)增加較多,后續(xù)增長(zhǎng)空間較大。

此外,上海新陽(yáng)還透露:公司現(xiàn)在已開(kāi)始進(jìn)行EUV光刻膠的前期摸索性基礎(chǔ)研發(fā),主要進(jìn)行EUV光刻膠的基礎(chǔ)理論、形成機(jī)理、性能觀察、配方篩選、制備方法等基礎(chǔ)性研發(fā)工作。其還表示,公司對(duì)于光刻膠研發(fā)投入決心非常大,已進(jìn)行全面布局,公司光刻膠ArF、ArF-i研發(fā)進(jìn)展順利,已經(jīng)形成兩個(gè)系列試驗(yàn)產(chǎn)品,樣品已經(jīng)進(jìn)入客戶(hù)端進(jìn)行測(cè)試

眾所周知,光刻膠是芯片關(guān)鍵材料中的重點(diǎn)所在,光刻膠是光刻成像的承載介質(zhì),其作用是利用光化學(xué)反應(yīng)的原理將光刻系統(tǒng)中經(jīng)過(guò)衍射、濾波后的光信息轉(zhuǎn)化為化學(xué)能量,進(jìn)而完成掩模圖形的復(fù)制。

光刻膠一般由聚合物骨架、光致酸產(chǎn)生劑或光敏化合物、溶劑,以及顯影保護(hù)基團(tuán)、刻蝕保護(hù)基團(tuán)等其他輔助成分組成。光刻膠是微電子技術(shù)中微細(xì)圖形加工的關(guān)鍵材料之一,特別是近年來(lái)大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路的發(fā)展,更是大大促進(jìn)了光刻膠的研究開(kāi)發(fā)和應(yīng)用。

一直以來(lái),光刻膠都是芯片關(guān)鍵材料中的重點(diǎn)所在,由于國(guó)內(nèi)光刻膠領(lǐng)域起步較晚,技術(shù)嚴(yán)重落后等原因,導(dǎo)致我國(guó)半導(dǎo)體芯片領(lǐng)域的光刻膠需求主要由外資企業(yè)來(lái)滿(mǎn)足,日美廠(chǎng)商占據(jù)了約87%的份額,國(guó)內(nèi)光刻膠產(chǎn)品進(jìn)口比例高達(dá)九成。

如今上海新陽(yáng)的KrF光刻膠產(chǎn)品成功打入國(guó)內(nèi)主流芯片公司,意味著國(guó)內(nèi)光刻膠產(chǎn)業(yè)再獲得重大突破,實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)替代指日可待

上海新陽(yáng)半導(dǎo)體材料股份有限公司創(chuàng)立于1999年7月,2011年6月在深圳證券交易所創(chuàng)業(yè)板上市。二十年來(lái),上海新陽(yáng)已申請(qǐng)授權(quán)國(guó)家專(zhuān)利210項(xiàng),其中國(guó)內(nèi)發(fā)明專(zhuān)利102項(xiàng),國(guó)際發(fā)明專(zhuān)利8項(xiàng),開(kāi)發(fā)研制出140多種電子電鍍與電子清洗系列功能性化學(xué)材料,產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于集成電路制造、3D-IC先進(jìn)封裝、IC傳統(tǒng)封測(cè)等領(lǐng)域,是中國(guó)半導(dǎo)體功能性化學(xué)材料和應(yīng)用技術(shù)與服務(wù)的知名品牌。公司已立項(xiàng)研發(fā)集成電路制造用高分辨率193nm ArF光刻膠及配套材料與應(yīng)用技術(shù),擁有完整自主可控知識(shí)產(chǎn)權(quán)的光刻膠產(chǎn)品與應(yīng)用即將形成公司的第三大核心技術(shù),公司在國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體功能性化學(xué)材料領(lǐng)域的地位將更加穩(wěn)固。

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